中文名称： 乙基三氯硅烷

中文别名： 三氯乙基硅烷

英文名称： trichloro(ethyl)silane

英文别名： thyltrichloro Silane; Ethyltrichlorosilane

CAS号： 115-21-9

EINECS号： 204-072-6

分子式： C2H5Cl3Si

分子量： 163.5056

密度： 1.243g/cm3

沸点： 100°C at 760 mmHg

闪点： 19.6°C

蒸汽压： 43.1mmHg at 25°C