中文名称：六甲基二硅氮烷

中文别名：六甲基二硅亚胺; 1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷; 六甲基二硅胺烷; HMDS

英文名称：1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane

英文别名：HMDS; Hexamethyldisilazane; DYNASYLAN HMDS; Bis(trimethylsilyl)amine; 1,1,1,3,3,3,-HEXAMETHYLDISILA-

CAS号：999-97-3

EINECS号：213-668-5

分子式：C6H19NSi2

分子量：161.39

密度：0.765

熔点：-78℃

沸点：125℃

闪点：20℃

水溶性：REACTS

性　状 无色透明液体、略带胺味。