中文名称：四甲基硅烷

英文名称：Tetramethylsilane

英文别名：TMS; TetramethylsilaneNMRgrade

CAS号：75-76-3

EINECS号：200-899-1

分子式：C4H12Si

分子量：88.22

密度：0.648

熔点：-99℃

沸点：26-28℃

闪点：-27℃

水溶性：0.02 g/L (25℃)